光化学蚀刻是一项融合了化学、光学、机械和材料科学的复合型技术,其基本生产流程主要包括以下六个步骤:
1.开料与前清洗:根据产品要求选用合适厚度与牌号的金属箔材。通过化学清洗或超声波清洗,彻底去除金属表面的油污、氧化层和灰尘,以保证后续感光材料能够牢固附着。
2.涂布与贴干膜:清洗干净的金属板两侧会被均匀地涂覆一层光刻胶(感光油墨)或贴上一层感光干膜,作为保护性层。
3.曝光:将绘制好产品图纸的精密菲林光掩模紧贴在覆有感光膜的金属板两面,然后送入曝光机中,使用强紫外光(UV)进行照射,使特定区域发生聚合反应。
4.显影:利用弱碱性溶液喷淋,将没有发生聚合反应(即未曝光)的光刻胶冲洗溶解,露出需要被蚀刻掉的裸露金属;而已经发生聚合反应(已曝光)的光刻胶则会保留下来,紧贴在金属表面形成耐酸的保护层。
5.蚀刻:金属板送入密闭的蚀刻机中,高压喷淋系统会将化学蚀刻液均匀喷洒在金属表面。裸露的金属与蚀刻液发生反应而被溶解流失。通过精确控制喷淋压力、温度、传送速度and化学液浓度,便能精确溶解出设计好的金属通路或微孔。
6.脱膜与后处理:当金属被溶解穿透后,利用强碱溶液将原本起到保护作用的感光膜剥离。最后,经过多次纯水清洗、干燥和品质检测,高精度的精密蚀刻金属件便制作完成了。
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